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    神商精密器材(揚(yáng)州)有限公司

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    1 離子注入裝置及束電流密度分布的調(diào)整方法 發(fā)明專利 CN201010528640.1 CN102237245B 2014-01-08
    2 離子注入方法和離子注入裝置 發(fā)明專利 CN201010262386.5 CN102222595B 2013-10-23
    3 離子注入裝置及束電流密度分布的調(diào)整方法 發(fā)明專利 CN201010528640.1 CN102237245A 2011-11-09
    4 離子注入方法和離子注入裝置 發(fā)明專利 CN201010262386.5 CN102222595A 2011-10-19

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