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    無(wú)錫亞電智能裝備有限公司

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    商標(biāo)信息1

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    1 AELSYSTEM 09類(lèi)-科學(xué)儀器 29841902 商標(biāo)已注冊(cè) 2018-03-27 查看

    專(zhuān)利信息38

    序號(hào) 專(zhuān)利名稱(chēng) 專(zhuān)利類(lèi)型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開(kāi)（公告）號(hào) 公布日期
    1 一種晶圓清洗工藝任務(wù)排列方法及裝置 發(fā)明專(zhuān)利 CN202110557733.5 CN113299587A 2021-08-24
    2 晶圓容納盒清洗設(shè)備及晶圓容納盒清洗方法 發(fā)明專(zhuān)利 CN202110531540.2 CN113289995A 2021-08-24
    3 一種半導(dǎo)體晶圓晶清洗裝置 發(fā)明專(zhuān)利 CN202110333321.3 CN113257730A 2021-08-13
    4 一種具有清洗功能的半導(dǎo)體晶圓盒 發(fā)明專(zhuān)利 CN202110332602.7 CN113257725A 2021-08-13
    5 一種半導(dǎo)體晶圓晶清洗方法 發(fā)明專(zhuān)利 CN202110333290.1 CN113257658A 2021-08-13
    6 一種晶圓籃清洗設(shè)備進(jìn)料機(jī)構(gòu)及進(jìn)料方法 發(fā)明專(zhuān)利 CN202010501775.2 CN111634687B 2021-08-10
    7 一種晶圓籃清洗設(shè)備進(jìn)料機(jī)構(gòu)及進(jìn)料方法 發(fā)明專(zhuān)利 CN202010501775.2 CN111634687A 2021-08-10
    8 一種分架式晶圓清洗設(shè)備用內(nèi)部晶圓輔助翻滾機(jī)構(gòu) 實(shí)用新型 CN202022189499.9 CN213670789U 2021-07-13
    9 一種半導(dǎo)體晶圓清洗裝置 發(fā)明專(zhuān)利 CN202110211700.5 CN113035744A 2021-06-25
    10 一種逐步抬升晶圓的晶圓清洗方法 發(fā)明專(zhuān)利 CN202110210728.7 CN113035743A 2021-06-25

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