至微
至微半導(dǎo)體(上海)有限公司
存續(xù)商標(biāo)信息4
專利信息98
| 序號 | 專利名稱 | 專利類型 | 申請?zhí)?/th> | 公開(公告)號 | 公布日期 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一種用于改善晶圓干燥模組潔凈度的機構(gòu) | 實用新型 | CN202023272270.8 | CN214250516U | 2021-09-21 |
| 2 | 一種用于晶圓的傳遞機構(gòu) | 實用新型 | CN202023280039.3 | CN214226890U | 2021-09-17 |
| 3 | 一種應(yīng)用于濕法設(shè)備的晶圓導(dǎo)片機構(gòu) | 實用新型 | CN202023280003.5 | CN214226889U | 2021-09-17 |
| 4 | 一種可適應(yīng)于晶圓傳遞的廣用型晶圓傳遞機構(gòu) | 實用新型 | CN202023279801.6 | CN214226888U | 2021-09-17 |
| 5 | 一種彈壓式連接結(jié)構(gòu) | 實用新型 | CN202120175372.3 | CN214204758U | 2021-09-14 |
| 6 | 一種彈壓嵌合式FFU系統(tǒng)安裝結(jié)構(gòu) | 實用新型 | CN202120176839.6 | CN214177765U | 2021-09-10 |
| 7 | 一種晶圓清洗設(shè)備晶圓片高速裝載系統(tǒng) | 實用新型 | CN202023321081.5 | CN214175990U | 2021-09-10 |
| 8 | 一種適用于濕法設(shè)備的FFU系統(tǒng)聯(lián)動循環(huán)結(jié)構(gòu) | 實用新型 | CN202120175141.2 | CN214068702U | 2021-08-27 |
| 9 | 一種晶圓片高速裝載輸送方法及卸載輸送方法 | 發(fā)明專利 | CN202011636187.6 | CN113270349A | 2021-08-17 |
| 10 | 一種具有良好導(dǎo)流功能的FFU系統(tǒng)安裝結(jié)構(gòu) | 實用新型 | CN202120176836.2 | CN213936137U | 2021-08-10 |
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