基于氧化鎵/CuAlO2異質(zhì)結(jié)日盲型紫外探測器的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201611057998.4 申請日 -
公開（公告）號 CN106449889B 公開（公告）日 2017-10-31
申請公布號 CN106449889B 申請公布日 2017-10-31
分類號 H01L31/18(2006.01)I;H01L31/109(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李小云;黃咸康;呂銘;時(shí)浩澤;錢銀平;王坤;王順利 申請（專利權(quán)）人 北京鎵創(chuàng)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 代理人 鄭海峰
地址 101300 北京市順義區(qū)昌金路趙全營段56號院1號樓1層3070室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種基于氧化鎵/CuAlO2異質(zhì)結(jié)日盲型紫外探測器的制備方法。本發(fā)明是通過射頻磁控濺射技術(shù)在石英(SiO2)襯底上沉積一層p?CuAlO2薄膜，然后利用掩膜板并再次通過射頻磁控濺射技術(shù)在p?CuAlO2薄膜上沉積一層n?Ga2O3薄膜，其面積是p?CuAlO2薄膜面積的一半，最后利用射頻磁控濺射技術(shù)在p?CuAlO2和n?Ga2O3薄膜上沉積一層Ti/Au薄膜作為電極使用。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是：所制備的日盲型紫外探測器性能穩(wěn)定，反應(yīng)靈敏，暗電流小，具有廣闊的應(yīng)用范圍；另外，該制備方法具有工藝可控性強(qiáng)，操作簡單，普適性好，且重復(fù)測試具有可恢復(fù)性等特點(diǎn)，具有很大的應(yīng)用前景。