一種用于絲錐表面制備TiCN涂層的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811107113.6 申請日 -
公開（公告）號 CN109182984B 公開（公告）日 2019-01-11
申請公布號 CN109182984B 申請公布日 2019-01-11
分類號 C23C14/32(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 馬勝利 申請（專利權）人 西安浩元航空科技有限公司
代理機構 西安恒泰知識產權代理事務所 代理人 李鄭建
地址 710089陜西省西安市閻良區(qū)國家航空高技術產業(yè)基地藍天路5號獨立廠房D座西北戶
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于絲錐表面制備TiCN涂層的方法，將高速鋼制成的絲錐經預處理后，放入電弧離子鍍膜設備中的轉架桿上，以Ti靶作為制備TiCN涂層的Ti元素來源，通過電弧電源的電流控制Ti靶的濺射率；采用高純Ar作為主要離化氣體，采用高純N2和高純CH2作為反應氣體，使其離化并與Ti元素結合，在絲錐表面沉積形成TiCN涂層；所制備的TiCN涂層為多層結構，即Ti/TiN/TiCN/TiN/TiCN，總厚度為2微米，原子成分含量為Ti：52at.％，C：28at.％，N：20at.％，涂層硬度HV3000，在室溫干摩擦和對副為GCr15條件下，銷盤實驗測出涂層的摩擦系數為0.15，具有優(yōu)良的減摩性能，適合于在難加工材料進行攻絲加工的應用。??