基于硅片清洗輸送用的花籃干燥裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122744970.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN216115234U 公開(kāi)(公告)日 2022-03-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN216115234U 申請(qǐng)公布日 2022-03-22
分類號(hào) F26B15/12(2006.01)I;F26B5/16(2006.01)I;F26B25/00(2006.01)I 分類 干燥;
發(fā)明人 李躍 申請(qǐng)(專利權(quán))人 東方日升(安徽)新能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 滁州創(chuàng)科維知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 洪余節(jié)
地址 239000安徽省滁州市常州路以東、海寧路以南、滁州大道以西、銅陵路以北
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了基于硅片清洗輸送用的花籃干燥裝置,包括軌道臺(tái),所述軌道臺(tái)上側(cè)設(shè)置有吊運(yùn)架,所述吊運(yùn)架內(nèi)設(shè)置有兩個(gè)帶輪循環(huán)機(jī)構(gòu),所述帶輪循環(huán)機(jī)構(gòu)上設(shè)置有多個(gè)用于干燥硅片花籃端部上表面的吸水布,所述吊運(yùn)架上端設(shè)有用于去除吸水布中水分的熱干燥機(jī)構(gòu)。本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置帶輪循環(huán)機(jī)構(gòu),可帶動(dòng)多個(gè)吸水布循環(huán)滾動(dòng),進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)硅片花籃端部的上表面連續(xù)干燥的作用,接著,吸水后變濕的吸水布在帶輪循環(huán)機(jī)構(gòu)的帶動(dòng)下,而經(jīng)過(guò)熱干燥機(jī)構(gòu)時(shí),又可同時(shí)受到擠壓及加熱作用,而將其吸收的水分排出并蒸發(fā)掉,從而保證了吸水布時(shí)刻以干燥狀態(tài)來(lái)對(duì)花籃進(jìn)行干燥,干燥效果更好。