基于硅片清洗輸送用的花籃干燥裝置
基本信息

| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202122744970.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)(公告)號(hào) | CN216115234U | 公開(kāi)(公告)日 | 2022-03-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216115234U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-22 |
| 分類號(hào) | F26B15/12(2006.01)I;F26B5/16(2006.01)I;F26B25/00(2006.01)I | 分類 | 干燥; |
| 發(fā)明人 | 李躍 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 東方日升(安徽)新能源有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 滁州創(chuàng)科維知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 洪余節(jié) |
| 地址 | 239000安徽省滁州市常州路以東、海寧路以南、滁州大道以西、銅陵路以北 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要

| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了基于硅片清洗輸送用的花籃干燥裝置,包括軌道臺(tái),所述軌道臺(tái)上側(cè)設(shè)置有吊運(yùn)架,所述吊運(yùn)架內(nèi)設(shè)置有兩個(gè)帶輪循環(huán)機(jī)構(gòu),所述帶輪循環(huán)機(jī)構(gòu)上設(shè)置有多個(gè)用于干燥硅片花籃端部上表面的吸水布,所述吊運(yùn)架上端設(shè)有用于去除吸水布中水分的熱干燥機(jī)構(gòu)。本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置帶輪循環(huán)機(jī)構(gòu),可帶動(dòng)多個(gè)吸水布循環(huán)滾動(dòng),進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)硅片花籃端部的上表面連續(xù)干燥的作用,接著,吸水后變濕的吸水布在帶輪循環(huán)機(jī)構(gòu)的帶動(dòng)下,而經(jīng)過(guò)熱干燥機(jī)構(gòu)時(shí),又可同時(shí)受到擠壓及加熱作用,而將其吸收的水分排出并蒸發(fā)掉,從而保證了吸水布時(shí)刻以干燥狀態(tài)來(lái)對(duì)花籃進(jìn)行干燥,干燥效果更好。 |





