一種硅片生產加工用視覺檢測器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122730680.0 申請日 -
公開（公告）號 CN216120215U 公開（公告）日 2022-03-22
申請公布號 CN216120215U 申請公布日 2022-03-22
分類號 H01L21/66（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I;B08B1/02（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李躍 申請（專利權）人 東方日升（安徽）新能源有限公司
代理機構 滁州創(chuàng)科維知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 洪余節(jié)
地址 239000安徽省滁州市常州路以東、海寧路以南、滁州大道以西、銅陵路以北
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種硅片生產加工用視覺檢測器，包括防塵倉，所述防塵倉內底面固定設置有兩個支座，兩個所述支座之間固定設置有放置盤，所述放置盤上設置有反饋基板，所述放置盤外的兩相對側均設置有滾動帶，兩個所述滾動帶之間固定設置有可對反饋基板的上表面進行周期性清潔的清潔刷。本實用新型通過設置固定于滾動帶上的清潔刷，使得清潔刷在滾動帶的帶動下發(fā)生環(huán)繞放置盤上下側的周期性滾動，進而實現了，既在清潔刷滾動經過放置盤下側時，不妨礙硅片的視覺檢測要求，也在清潔刷滾動經過放置盤上側時，對反饋基板的上表面進行清潔，保證硅片視覺檢測的準確性，代替了人工將反饋基板取出而進行清潔的麻煩操作。