一種線寬的測(cè)量方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110264099.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113053768A 公開(kāi)（公告）日 2021-06-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN113053768A 申請(qǐng)公布日 2021-06-29
分類號(hào) H01L21/66;H01L23/544 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳慶煌;柯思羽;陳國(guó)強(qiáng);劉志成 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 泉芯集成電路制造（濟(jì)南）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 駱宗力
地址 250101 山東省濟(jì)南市高新區(qū)機(jī)場(chǎng)路7617號(hào)411-2-9室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種線寬的測(cè)量方法，通過(guò)將光刻膠層的顯影區(qū)域圖案轉(zhuǎn)移到測(cè)試基材上，進(jìn)而通過(guò)對(duì)測(cè)試基材進(jìn)行測(cè)量即能完成對(duì)顯示區(qū)域進(jìn)行測(cè)量的目的。并且，由于測(cè)試基材覆蓋光刻膠層且填充光刻膠層的顯影區(qū)域的部分的熱膨脹系數(shù)小于光刻膠層的熱膨脹系數(shù)，測(cè)試基材該部分出現(xiàn)受熱形變的情況較小，進(jìn)而在采用電子顯微鏡采集測(cè)試基材上線寬數(shù)據(jù)時(shí)出現(xiàn)尺寸失真的情況有所改善，亦即改善了對(duì)光刻膠層的顯影區(qū)域的線寬進(jìn)行測(cè)量時(shí)出現(xiàn)的尺寸失真的情況，保證線寬的測(cè)量準(zhǔn)確度高。