一種提高離子注入機晶元機械傳輸效率的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910981011.5 申請日 -
公開（公告）號 CN112670202A 公開（公告）日 2021-04-16
申請公布號 CN112670202A 申請公布日 2021-04-16
分類號 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉海霞 申請（專利權(quán)）人 北京爍科中科信電子裝備有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 101111北京市通州區(qū)光機電一體化產(chǎn)業(yè)基地興光二街6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實施例公開了一種提高離子注入機晶圓機械傳輸?shù)姆椒?，通過調(diào)度模塊提高離子注入機晶圓機械傳輸效率的方法，包括調(diào)度模塊、機械手傳輸模塊、運動模塊、異常處理模塊，該方法通過調(diào)度模塊來控制機械手傳輸模塊、運動模塊，在晶圓傳輸過程中，若機械手傳輸模塊或運動模塊發(fā)生故障，則會觸發(fā)異常處理模塊進行系統(tǒng)保護，在晶圓傳輸過程中對機械手傳輸動作及電機動作進行優(yōu)化，節(jié)約不必要的時間消耗，提高了晶圓機械傳輸效率。??