一種消除電極電荷積累的方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910981013.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112670149A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-04-16 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112670149A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-16 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01J37/317(2006.01)I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 金洲 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 北京爍科中科信電子裝備有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 101111北京市通州區(qū)光機(jī)電一體化產(chǎn)業(yè)基地興光二街6號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種消除電極電荷積累的方法，用恒流電源不斷提供的電荷來(lái)中和電極積累的異性電荷，保證電極的電位穩(wěn)定。本方法涉及離子注入機(jī)，屬于半導(dǎo)體器件制造領(lǐng)域。高壓電源A(1)輸出直流正電壓，提供給電極A(2)正電位，用于離子束的加速并使其獲得能量，高壓電阻A(4)構(gòu)成回路，恒流電源A(5)提供的電子(7)用于中和電極A上所積累的正電荷(6)，保證電極A上電位的穩(wěn)定。高壓電源B(8)輸出直流負(fù)電壓，提供給電極B(9)負(fù)電位，用于抑制離子束中電子的發(fā)散，高壓電阻B(9)構(gòu)成回路，恒流電源B(11)提供的正電荷(13)用于中和其上所積累的電子(12)，保證電極B上電位的穩(wěn)定。?? |
