一種測(cè)量離子束流大小的法拉第筒裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910980969.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111308541B 公開（公告）日 2022-06-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN111308541B 申請(qǐng)公布日 2022-06-28
分類號(hào) G01T1/29（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 霍昆;田龍;張叢 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京爍科中科信電子裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長沙正奇專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 代理人 -
地址 101111北京市通州區(qū)光機(jī)電一體化產(chǎn)業(yè)基地興光二街6號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種測(cè)量離子束流大小的法拉第筒裝置，包括儲(chǔ)藏腔、束流腔、法拉第筒和電機(jī)，儲(chǔ)藏腔和束流腔均是真空環(huán)境并且連通。電機(jī)位于儲(chǔ)藏腔、束流腔外，借助電機(jī)和法拉第筒的連接實(shí)現(xiàn)法拉第筒在真空環(huán)境中旋轉(zhuǎn)，又借助于法拉第筒的旋轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)了法拉第筒測(cè)量模式和退出模式的切換。法拉第筒在測(cè)量模式中可以對(duì)束流腔中的離子束流大小進(jìn)行測(cè)量，在退出模式中法拉第筒完全處于儲(chǔ)藏腔中不介入到離子束流中。本發(fā)明體積較小、組裝簡單、便于維護(hù)、理想真空環(huán)境獲取更加快速并且能夠靈活測(cè)量不同入射角度離子束的束流大小分布。