一種單晶圓搬運(yùn)裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022694384.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN213278047U | 公開（公告）日 | 2021-05-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213278047U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-25 |
| 分類號(hào) | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 黃自柯;趙晗;林生海 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 冠禮控制科技（上海）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海精晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 楊軍 |
| 地址 | 200131上海市浦東新區(qū)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)富特西一路333號(hào)長城大樓第一層A1－2部位 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種單晶圓搬運(yùn)裝置，包括CST進(jìn)料單元，CST進(jìn)料單元上置有用于放置晶圓的晶圓載體，晶圓載體由水平輸送模組運(yùn)送至提升工位，并經(jīng)提升機(jī)構(gòu)提升至晶圓夾爪轉(zhuǎn)臺(tái)單元的取貨位置，晶圓夾爪轉(zhuǎn)臺(tái)單元包括轉(zhuǎn)臺(tái)和晶圓框邊夾持氣爪，晶圓框邊夾持氣爪在轉(zhuǎn)臺(tái)的帶動(dòng)下旋轉(zhuǎn)至取貨位置夾取晶圓，并將晶圓輸送至晶圓對(duì)中單元正上方取片位置，晶圓對(duì)中單元包括行程可調(diào)氣缸以及頂針，晶圓對(duì)中單元通過頂針托舉正上方的晶圓，并由頂針將晶圓向下輸送至晶圓對(duì)中單元的對(duì)中位置，真空吸盤單元用于吸取晶圓對(duì)中單元上的晶圓，并將晶圓輸送至上貨區(qū)域；本實(shí)用新型能夠?qū)崿F(xiàn)取片輸送與取片回收采用相同機(jī)構(gòu)完成,且使用的零部件少，占空間小。?? |
