一種基于相位檢測(cè)原理的MEMS壓力傳感器及制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110905535.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113353883A 公開(kāi)（公告）日 2021-09-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN113353883A 申請(qǐng)公布日 2021-09-07
分類(lèi)號(hào) B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00;G01L1/14;G01L9/12 分類(lèi) 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 李維平;蘭之康;邵文東 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 南京高華科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中知法苑知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李明;趙吉陽(yáng)
地址 210049 江蘇省南京市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)棲霞大道66號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種基于相位檢測(cè)原理的MEMS壓力傳感器及制備方法，包括：CPW傳輸線，設(shè)置在襯底上，該CPW傳輸線包括CPW信號(hào)線以及位于CPW信號(hào)線兩側(cè)的CPW地線，CPW信號(hào)線與CPW地線相互平行，凹槽設(shè)置在襯底上且位于CPW信號(hào)線下方；MEMS梁，位于凹槽的底面和靠近CPW地線的兩個(gè)側(cè)面上并呈倒置的拱橋狀，且與CPW地線相連接；MEMS薄膜位于凹槽上方，并與CPW信號(hào)線的底面接觸，其兩端置于CPW地線上，并與凹槽形成密閉腔體。利用密閉腔體來(lái)感測(cè)外部環(huán)境的壓強(qiáng)，RF信號(hào)在CPW傳輸線上傳輸前后的相位差發(fā)生變化，從而通過(guò)測(cè)量RF信號(hào)的相位便可獲取環(huán)境壓強(qiáng)。